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解决方案

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晶圆预定位装置 MWA3
( WAFER ALIGNER MWA3 )
本晶圆预定位Aligner是一款高精度晶圆预定位系統。工作时通过读取数据，自动计算出定位所需的移动量，然后通过控制平台XYθ的移动，实现对晶圆的定位从而达到精确对位目的。
(This wafer aligner is in a high precision wafer pre-aligning system. Worked by reading sensor datum, calculated automatically wafer moving amounts, positioning by controlled the mobile platform and to realize wafer orientation so as to achieve precise wafer calibration. )

特征：

1.定位精度高

2.定位时间快

3.设备接口简单，易于安装和使用

4.安全可靠（误操作也不会损坏晶圆）

Features:

1.High Precise Positioning

2.Shortly Locating time

3.Interface simply, easy to install and use

4.Safe and reliable (Even wrong operation no damage the wafer)