半导体领域-前道设备
半导体设备前置模块EFEM

 

基于MES系统通过SECS/GEM传输指令或手动输入指令对WAFER进行传送和定位,兼容多种通讯协议,与PVD,CVD,ETCH等设备配套

MES-based system transmits and locates WAFER through SECS/GEM instruction or manual input instruction, is 

compatible with various communication protocols, and is matched with PVD,CVD,ETCH and other equipment

Ø 采用高性能晶圆传送机器人,最优路径设计,实现高效传送;

Ø 与多规格制程设备配套,兼容多种通讯协议,无缝式简易连接;

Ø 集有MES模块的控制系统实现与工厂信息系统连接,可远程检索与控制;

Ø High-performance wafer transfer robot is adopted and optimal path design is adopted to ensure wafers transfer

efficiently and safely;

Ø Compatible with various process equipment, compatible with various communication protocols, seamless and 

simple connection;

Ø Can be connected to CIMS system with MES connection module smoothly to execute remote control and easy maintenance;