EFEM

基于MES系统通过SECS/GEM传输指令或手动输入指令对WAFER进行传送和定位，兼容多种通讯协议，可与各类工艺和检测设备配套。

·可对应3-12英寸各类材料的晶圆；

·可对应Foup、FOSB、SMIF、Open Cassette；

·可对应OHT系统和AGV系统相配套；

·除了通用的2-4port产品外，可根据客户的需求定制各类型排列方式；