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晶圆外观检查分选机

 

·  可实现8/12英寸晶圆分选;


·  配置高倍显微镜及CCD视觉系统实现晶圆正面及背面的缺陷检查; 


·  兼容Foup/Open Cassette; 


·  可视化操作,双显示屏界面,操作简便;


·  具有MES模块的软件系统可与CIM系统无缝链接。