· 可实现8/12英寸晶圆分选；
· 配置高倍显微镜及CCD视觉系统实现晶圆正面及背面的缺陷检查；
· 兼容Foup/Open Cassette；
· 可视化操作，双显示屏界面，操作简便；
· 具有MES模块的软件系统可与CIM系统无缝链接。
