晶圆检测传送系统
· 可对应各尺寸和各种材质晶圆；
· 基于MES系统通过SECS/GEM传输指令或手动输入指令对WAFER进行传送和定位，兼容多种通讯协议，可与与各类检测等设备配套；
· 兼容多种通讯协议，无缝式简易连接。
· 可对应各尺寸和各种材质晶圆；
· 基于MES系统通过SECS/GEM传输指令或手动输入指令对WAFER进行传送和定位，兼容多种通讯协议，可与与各类检测等设备配套；
· 兼容多种通讯协议，无缝式简易连接。
