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晶圆检测传送系统

 

·  可对应各尺寸和各种材质晶圆;


·  基于MES系统通过SECS/GEM传输指令或手动输入指令对WAFER进行传送和定位,兼容多种通讯协议,可与与各类检测等设备配套;


·  兼容多种通讯协议,无缝式简易连接。