“EFEM”累计出货100台仪式在微松制造基地海安举行

      作为半导体设备的核心零部件，特别是8、12吋EFEM的系统级核心部件，常常需要按照设备整机厂商的设计进行调整布局和参数。研制国产EFEM，可以提高零部件国产化率，降低对国外零部件的依赖，降低成本，减少风险，可以提高国产设备整机厂商的国际竞争力。

      微松自2017年首次为中后道工艺设备厂商配套EFEM以来，历时4年，逐步进入前道工艺设备厂商供应商行列；并与德国、日本的检测设备、光刻设备等厂商批量配套；在用户端提供具有MES功能的SECS/GEM整体解决方案。

      近日，第100台”EFEM“出货仪式在微松制造基地海安举行。上海微松继推出前道晶圆Sorter类产品，并成功实现大批量国产替代后；又下功夫在客户定制化要求更高的EFEM类领域取得稳定的市场地位，达到稳定的性能和量产指标。下一步在核心零部件的国产化上争取再创佳绩。