上海微电子装备股份有限公司党委书记干频董事长调研微松， 暨微松荣登“闵行区企业技术中心”榜单

近日，上海微电子装备（集团）股份有限公司党委书记、董事长干频就“半导体装备核心零部件国产化和国内产业链建设”等议题调研微松。

刘劲松博士在汇报中提到，国内首台国产SCARA机器人于1995年诞生在上海交大机器人研究所，刘博士作为研究所首位博士后，负责此项目后续研制任务。上海微松成立后，SCARA机器人发明人牧野洋教授曾多次来微松指导工作。

刘博士提及微松EFEM起步于12年前，目前生产超过200台（含8吋）。微松EFEM为自主研发的全自动晶圆植球机等半导体设备配套，拥有丰富的配套经验；也同时为多个全球头部和国内头部半导体设备公司配套。

上海激光技术研究所陈海鹏所长，上微集团党委陈琦副书记、董办沈玲主任陪同调研。