上海微松研制开发的IC制程后道核心制造装备----“基于视觉处理系统的晶圆微芯片检查提取设备”(Die Sorter)日前成功下限,并通过了上海市科技攻关项目专家组的验收。为下一步投入市场、大规模产业化奠定了基础。