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Sorter
无标题

SORTER

 

·  可对应3-12英寸各类材质的晶圆;


·  可对应Foup、FOSB、SMIF、Open Cassette;


·  可对应可OHT系统和 AGV系统相配套;


·  可对应MES系统;


·  满足用户的各种应用方式(夹持、伯努利、翻转)和14纳米工艺需求;


·  除了通用的2-8 port产品外,可根据客户的需求定制各类型排列方式;