SORTER

·  可对应3-12英寸各类材质的晶圆；

·  可对应Foup、FOSB、SMIF、Open Cassette；

·  可对应可OHT系统和 AGV系统相配套；

·  可对应MES系统；

·  满足用户的各种应用方式（夹持、伯努利、翻转）和14纳米工艺需求；

·  除了通用的2-8 port产品外，可根据客户的需求定制各类型排列方式；