8吋晶圆（SMIF）专用EFEM、Sorter

SMIF Opener

适用于8吋晶圆SMIF料盒的自动开闭，使用传感器检测晶圆的有无，实现高稳定性，高效率,Class1洁净度等級；

·  机构检测料盒位置准确后，实现开盖；

·  开盒时检测料盒内wafer状态，例如叠片、交叉片等情况；

·  关盒时检测料盒内wafer是否有凸出情况，保护wafer；

·  具备RFID读取功能；